7月25日，盛美上海宣布對(duì)其Ultra C wb濕法清洗設(shè)備進(jìn)行了重大升級(jí)。此次全新升級(jí)旨在滿(mǎn)足先進(jìn)節(jié)點(diǎn)制造工藝的苛刻技術(shù)要求。

據(jù)悉，升級(jí)后的Ultra C wb采用了專(zhuān)利申請(qǐng)中的氮?dú)猓∟2）鼓泡技術(shù)，有效解決了濕法刻蝕均勻性差和副產(chǎn)物二次沉積問(wèn)題。在先進(jìn)節(jié)點(diǎn)制造工藝中，這些問(wèn)題常見(jiàn)于高深寬比溝槽和通孔結(jié)構(gòu)的傳統(tǒng)磷酸濕法清洗工藝。氮?dú)夤呐菁夹g(shù)不但提升了磷酸傳輸效率，而且提高了濕法刻蝕槽內(nèi)溫度、濃度和流速的均勻性。濕法刻蝕過(guò)程中質(zhì)量傳遞效率的提高可防止副產(chǎn)物在晶圓微結(jié)構(gòu)內(nèi)積聚，從而避免二次沉積。這項(xiàng)技術(shù)在500層以上的3D NAND，3D DRAM，3D邏輯器件中有巨大的應(yīng)用前景。

盛美上海總經(jīng)理王堅(jiān)表示，性能提升始終是首要的追求，通過(guò)專(zhuān)利申請(qǐng)中的集成氮?dú)夤呐菁夹g(shù)，盛美提升了Ultra C wb設(shè)備的工藝性能。批式處理工藝始終是濕法加工領(lǐng)域的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，與單晶圓濕法清洗相比，其在成本效益、生產(chǎn)效率及化學(xué)品消耗方面具有顯著優(yōu)勢(shì)。

具體而言，升級(jí)后的Ultra C wb設(shè)備具有以下全新特性與優(yōu)勢(shì)：1.提升蝕刻均勻性。相較于傳統(tǒng)的槽式濕法清洗設(shè)備，Ultra C wb平臺(tái)配備了氮?dú)夤呐菁夹g(shù)，將晶圓內(nèi)以及晶圓間的濕法刻蝕均勻性提高了50%以上。

2.提高顆粒去除性能。在先進(jìn)節(jié)點(diǎn)工藝中，Ultra C wb平臺(tái)的卓越清洗能力已被證明能夠高效去除特殊磷酸添加劑的有機(jī)殘留物。

3.擴(kuò)展工藝能力。升級(jí)后的清洗臺(tái)模塊已通過(guò)三道先進(jìn)節(jié)點(diǎn)工藝驗(yàn)證，包括：疊層氮化硅蝕刻、溝道孔多晶硅蝕刻以及柵極線鎢蝕刻，可搭配多種化學(xué)藥液使用，如磷酸、H4刻蝕液（一種常用于金屬薄膜蝕刻的混合酸溶液）、四甲基氫氧化銨（TMAH）、標(biāo)準(zhǔn)清洗液1（SC1 ）以及硅鍺（SiGe）刻蝕液等。此外，更多道工藝及應(yīng)用方案正在客戶(hù)工廠進(jìn)行開(kāi)發(fā)。

4.自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)設(shè)計(jì)。專(zhuān)利申請(qǐng)中的氮?dú)夤呐菰O(shè)計(jì)可生成均勻分布的大尺寸氣泡，且氣泡密度精準(zhǔn)可控。該專(zhuān)利申請(qǐng)的氮?dú)夤呐莺诵募夹g(shù)可以應(yīng)用在盛美上海的Ultra C Tahoe（單片槽式組合清洗設(shè)備）平臺(tái)上，更好地解決客戶(hù)未來(lái)的工藝需求。

盛美上海是一家為半導(dǎo)體前道和先進(jìn)晶圓級(jí)封裝應(yīng)用提供晶圓工藝解決方案的供應(yīng)商。公司產(chǎn)品覆蓋了前道半導(dǎo)體工藝設(shè)備，包括清洗設(shè)備、半導(dǎo)體電鍍?cè)O(shè)備、立式爐管系列設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）設(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備；以及后道先進(jìn)封裝工藝設(shè)備、硅材料襯底制造工藝設(shè)備等。

在6月17日披露的調(diào)研紀(jì)要中，公司高管表示，公司的PECVD、Track及爐管設(shè)備等產(chǎn)品線均在持續(xù)推進(jìn)研發(fā)創(chuàng)新，加強(qiáng)顛覆性技術(shù)創(chuàng)新。公司訂單第三季度已排滿(mǎn)，第四季度也即將排滿(mǎn)。公司也將持續(xù)拓展海外市場(chǎng)。

財(cái)報(bào)方面，受益于全球半導(dǎo)體行業(yè)復(fù)蘇，盛美上海2024年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入56.18億元，同比增長(zhǎng)44.48%；歸母凈利潤(rùn)11.53億元，同比增長(zhǎng)26.65%；今年一季度，公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入13.06億元，同比增長(zhǎng)41.73%；歸母凈利潤(rùn)2.46億元，同比增長(zhǎng)207.21%。

此前，公司披露了2025年的經(jīng)營(yíng)業(yè)績(jī)預(yù)測(cè)顯示，綜合近年來(lái)的業(yè)務(wù)發(fā)展趨勢(shì)，以及目前的訂單等多方面情況，預(yù)計(jì)2025年全年的營(yíng)業(yè)收入將在65億元至71億元之間。